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油擴散泵的分類與特點
來源：上海寶龍氣動泵閥廠
發(fā)布日期：2015/10/19
新國家推薦標準將油擴散泵分為K 系列(直腔泵),、KT 系列(凸腔泵) 2 個系列, 主要依據(jù)泵的外形差異進行區(qū)別,。實際上市場現(xiàn)存的產(chǎn)品除包括上述2 類外, 還包括KA 系列(直腔矮泵),、KTD 系列(凸腔低返油泵),、KC 系列(寬區(qū)域泵) 等; 按噴帽、噴嘴數(shù)量分有5 級,、4 級,、3 級等形式,。
泵系列的演變是隨著我國科技人員對油擴散泵研究的深入和解決實際應用問題的過程中逐步完善的。例如, 在允許稍許降低泵的抽氣速率指標下, 通過合理調(diào)節(jié)泵芯各級間距, 可以降低泵的高度, 從而減少空間高度, 于是出現(xiàn)了直腔矮泵,。實踐發(fā)現(xiàn)在泵口尺寸不變的情況下增加泵腔尺寸可以將泵的抽氣速率平均提高30% , 甚至50% , 對大泵來說也有一定的效果, 我公司新研制的直徑1200 mm 的凸腔泵比直腔泵的抽氣速率提高20% , 由于提速效果明顯, 凸腔泵很快系列化, 并成為油擴散泵的主流產(chǎn)品, 廣泛應用于各類真空應用設備中,。隨著半導體等行業(yè)的發(fā)展, 提出了潔凈真空的要求, 必須嚴格限制泵液返流率, 甚至要求無油真空的環(huán)境, 因此只有降低泵本身的返流率并配置合理有效的防返油裝置才能解決問題, 于是凸腔低返油泵系列應運而生, 該類泵的泵腔、泵芯的設計與凸腔泵有明顯的不同, 設計參數(shù)突破了原有的選擇范圍, 并不只是簡單地將水冷擋油帽置于泵腔內(nèi)的結(jié)構(gòu), 實際表明, 凸腔低返油泵和預期的效果尚有差距, 需進一步改進探索,。油擴散泵在10-4～ 10-2Pa 范圍具有穩(wěn)定的抽氣速率, 壓力高于10-1 Pa 時抽氣速率降幅非常大, 形成明顯的拐點, 使油擴散泵與前級泵不能很好地銜接, 延長抽氣時間, 新生的寬區(qū)域泵在不改變泵原有的性能指標的情況下, 提高泵在高壓力區(qū)域的抽氣速率, 同時提高泵的臨界前級壓力, 使抽氣效率明顯增大,。
外國公司的油擴散泵一般根據(jù)用途、配套的輔助部件(如擋板) 的不同來劃分系列:ULVAC 公司分為ULK系列,、U,、F系和、PFL系列; BOC Edwards 公司按用途分科研,、工業(yè)和彩管行業(yè)用泵, 有Standard D IFFSTA IC,、Cryocoo led DIFFSTA IC、HT 和EO 系列; Pfeiffer 公司分為DIF 系列和DIFC 系列; Leybold 公司是DIP 系列,。各公司一般將科研用泵和工業(yè)用泵,、通用型和專用型泵、小口徑泵和大口徑泵區(qū)別開來, 有的公司將泵,、阱,、閥、冷卻和電控集合為一體, 方便了用戶的使用,。外國公司產(chǎn)品的多樣性體現(xiàn)了國外產(chǎn)品的人性化設計思想和良好的聯(lián)體界面, 豐富產(chǎn)品類型的同時簡化了戶使用手續(xù), 降低對用戶專業(yè)化知識的要求。 |
