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    構造：加熱電阻絲,、Ti材料(線或球),。

    原理：通過加熱電阻絲,使Ti升華,。因為Ti化學反應活性高,、立刻和周圍的氣體分子反應而生成穩(wěn)定的化合物。反應生成的化合物吸附在真空腔內壁上,、從而達到降低氣壓的效果,。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內壁上、則產生巨大的排氣速度,。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話,、對氮氣而言、可達到24000升/s的排氣速度,。 在壓力較高時(>10-3Pa),、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用,。

    特征：

    排氣速度大。

    沒有運動部分,沒有振動,。

    需要和其它初段排氣泵組合,。

    有一定壽命。

低溫泵 

    構造：冷凍機,、液態(tài)He,。

    原理：利用氣體在超低溫表面凝結而達到排氣效果。

    特征：

    能達到超高真空(10-11Pa)

    排氣速度快,。

    安裝方向不受限制,。

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