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擴散泵抽氣系統(tǒng)常見的故障及其排除措施
來源：上海寶龍氣動泵閥廠
發(fā)布日期：2015/12/29
擴散泵抽氣系統(tǒng)常見的故障及其排除措施如下：
(1) 如果擴散泵抽氣系統(tǒng)不漏氣，而系統(tǒng)的極限壓力卻一直達不到預想的結(jié)果,，則可能是系統(tǒng)設計不合理,，有效抽速低；或真空規(guī)電極放氣和真空規(guī)本身受光電流的限制,，測不出低壓力。
(2)如果在長時間使用后,，擴散泵或機組的抽氣性能逐漸變壞,，即極限真空度和抽速降低，而其它情況正常,，則主要是擴散泵油逐漸氧化,，質(zhì)量變壞。這時,，應更換新擴散泵油,。換油步驟為：先把擴散泵卸下,，取出泵芯，按要求將泵芯清洗烘干后正確裝配并加新油,。
(3)由于特殊原因,，如真空規(guī)管炸裂，誤開真空容器放氣閥或未關(guān)閉高真空閥等,，使擴散泵內(nèi)突然漏進大氣時,，應立即關(guān)閉高真空閥門，停止擴散泵加熱并強迫油鍋冷卻,。消除故障后,，應作抽氣試驗，并根據(jù)其結(jié)果判斷是否需要更換擴散泵油,。
(4)擴散泵經(jīng)拆裝接入系統(tǒng)后,，如果系統(tǒng)一切均嚴格按前述操作程序進行抽氣的話，則應該能達到泵原極限壓力,；如果仔細反復調(diào)整各噴口間隙,，真空度還應有所提高。如果真空度抽不上去,，則首先檢查該泵所在系統(tǒng)的漏氣率是否超過允許值,；同時檢查擴散泵的加熱器是否燒斷、供電電壓是否正常,、泵的冷卻是否正常,。如果上述方面一切均正常，則可認為是泵芯裝配方面的問題,，如裝歪,、噴嘴間隙不對、泵芯在裝配前未清洗干凈,、有機溶劑未烘干,、泵油不夠或裝入了質(zhì)量不好的泵油及加熱功率調(diào)整不正確等。
(5)如果擴散泵的工作一直正常,，而且也不是動了系統(tǒng)而使某處漏氣,，而使機組的抽氣性能突然變壞，則可能是擴散泵電爐絲斷了或保險絲斷了,，應及時檢查更換,。
(6)如果前級泵工作不正常或抽氣容量不夠,，也會使擴散泵工作不正常,。
(7)環(huán)境溫度、濕度,、冷卻水溫度等使用條件對擴散泵的抽氣性能影響也較大,。例如,，當環(huán)境溫度過高（超過35℃）時，擴散泵性能即開始降低,。
(8)擴散泵加熱功率調(diào)整得不正確,，也可使擴散泵的工作狀態(tài)不正常。調(diào)加熱功率時,，好能找到返油率低點的合適溫度,。
(9)油蒸氣返流污染系統(tǒng)，也可使系統(tǒng)得極限壓力達不到預期結(jié)果,，可參照真空技術(shù)網(wǎng)前文采取措施加以改進,。 |
