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低溫泵真空系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)
來(lái)源：上海寶龍氣動(dòng)泵閥廠
發(fā)布日期：2016/1/14
（1）在低溫泵系統(tǒng)中,，有時(shí)為了減少表面出氣，需要對(duì)工作室壁用液氮冷卻,。但此時(shí),，在解釋電離規(guī)讀數(shù)時(shí)就應(yīng)注意。即使室壁不冷卻,，規(guī)在低溫系統(tǒng)內(nèi)的位置很重要,，特別是否直接對(duì)著泵。由于電離規(guī)測(cè)量的是氣體密度而不是壓強(qiáng),，若規(guī)內(nèi)氣體溫度為T1,，而系統(tǒng)內(nèi)溫度為T2，則電離規(guī)壓強(qiáng)讀數(shù)是Pi＝P（T1/T2）1/2,，這里P 是系統(tǒng)內(nèi)的壓力,。
（2） 烘烤低溫泵真空系統(tǒng)時(shí)應(yīng)特別注意,，由于低溫泵怕熱輻射,，當(dāng)系統(tǒng)烘烤到450℃時(shí)，可能導(dǎo)致泵的溫度升高到超過工作范圍,，此時(shí)可以在泵和系統(tǒng)之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽,，但這會(huì)嚴(yán)重地減小抽速�,？梢园褤醢逯瞥珊婵緯r(shí)旋轉(zhuǎn)到屏蔽位置,，結(jié)束后旋轉(zhuǎn)回去的類似于蝶閥的結(jié)構(gòu)。檔板在屏蔽位置時(shí),，系統(tǒng)的抽速減小了75％,。
（3）在抽氣系統(tǒng)操作時(shí),，系統(tǒng)的操作者應(yīng)確保在工作過程中低溫泵的熱載荷不超過額定指標(biāo),，尤其應(yīng)特別注意泵第一級(jí)吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過指標(biāo)（尤其是第一級(jí)上的熱負(fù)載）,，應(yīng)采用某種形式的障板來(lái)減少射到第一級(jí)上的輻射用量,。除了真空室壁附近300 K 的輻射外，第一級(jí)還接受來(lái)自諸如鍍膜室,、加熱燈絲或?yàn)R射放電等熱輻射源,。在許多過程中熱載荷可高達(dá)100 到150 W,，此時(shí)就容易超過功率為35 到40 W 的膨脹機(jī)的容量。因而需要加某種形式的障板來(lái)減少射到第一級(jí)上的輻射通量,。簡(jiǎn)單的辦法是用反射的非冷卻障板,。如果還不夠的話，則需要采用帶冷卻的人字形障板,。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來(lái)冷卻,。
（4）低溫泵在連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中,，尤其是在吸附劑被氦飽和時(shí),，應(yīng)特別注意防止瞬時(shí)斷電，因?yàn)榧词故嵌虝r(shí)間停電,，氦氣也會(huì)從吸附劑中釋放出來(lái),，而且會(huì)把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表面上去。這時(shí)即使系統(tǒng)已經(jīng)粗抽到20 Pa 也解決不了問題,，因?yàn)槟且膊蛔阋宰柚惯B續(xù)的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象發(fā)生,。
如果發(fā)生短時(shí)間斷電情況，即當(dāng)氦被猝發(fā)以后,，則泵就不能再繼續(xù)工作,，而需要再生了。如果停電時(shí)間較長(zhǎng),，則可能使水蒸氣從第一級(jí)釋放出來(lái)并淀積在第二級(jí)上使吸附劑飽和,，此時(shí)需要徹底再生。
�,。�5）操作中應(yīng)經(jīng)常檢查低溫泵的過壓安全閥是否正常,，以防止安全閥失靈，對(duì)操作者和泵造成危害,。
�,。�6）不能用低溫泵抽除有毒的或易爆及容易產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的危險(xiǎn)氣體。因?yàn)榈蜏乇砻婵衫淠鞣N蒸氣,，所以它會(huì)累積大量的沉積物,，當(dāng)泵被升溫時(shí)，低溫表面冷凝的某些沉積物就可能相互反應(yīng)或與大氣發(fā)生反應(yīng),。例如,，硅烷和水蒸氣在77 K 時(shí)會(huì)起反應(yīng)，產(chǎn)生爆炸的危險(xiǎn),。如果泵中凝結(jié)著爆炸性氣體,，則在泵突然升溫大量氣體放出時(shí)，它們會(huì)流到被抽空的系統(tǒng)中去,，此時(shí)如果電離規(guī)在工作就會(huì)發(fā)生嚴(yán)重問題,。
（7）低溫泵對(duì)所有氣體的抽氣能力并不是都一樣,。低溫泵的抽氦和抽氫的能力要比抽其它氣體的能力差得多,，在系統(tǒng)的組成和操作時(shí)應(yīng)考慮這一點(diǎn)。
�,。�8） 壓縮機(jī)需充以高純氦（99.999%）,。氖是氦中常見的雜質(zhì)，它會(huì)凝聚在低溫級(jí)上并導(dǎo)致密封件磨損,。 |
